ഉയർന്ന താപനില വാക്വം ഘടകങ്ങൾ
ചൂട് ചികിത്സയിൽ പ്രധാനമായും ഓക്സിഡേഷൻ, ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ചൂളയിൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ സ്ഥാപിക്കുകയും അവയുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഓക്സിജൻ ചേർത്ത് വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ സിലിക്ക രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്ന ഒരു സങ്കലന പ്രക്രിയയാണ് ഓക്സിഡേഷൻ.തന്മാത്രാ താപ ചലനത്തിലൂടെ പദാർത്ഥങ്ങളെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള സ്ഥലത്ത് നിന്ന് സാന്ദ്രത കുറഞ്ഞ പ്രദേശത്തേക്ക് മാറ്റുന്നതാണ് ഡിഫ്യൂഷൻ, കൂടാതെ സിലിക്കൺ അടിവസ്ത്രത്തിലെ നിർദ്ദിഷ്ട ഡോപ്പിംഗ് പദാർത്ഥങ്ങളെ ഡോപ്പ് ചെയ്യാൻ ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രക്രിയ ഉപയോഗിക്കാം, അതുവഴി അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെ ചാലകത മാറുന്നു.
